Áß°íÆßÇÁ List 1.U22HB 1Set -Cryo Pump,Compressor,¹êµåÈ÷ÅÍ -°¡°Ý,¼ö·® ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
2.U22H 2ea -Cryo Pump ¼ö¸® ÇÊ¿ä -°¡°Ý,¼ö·® ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
3.U16P 1ea -¹Ì»ç¿ë ½ÅÇ° -°¡°Ý ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
4.U16PL -Cryo Pump ¼ö¸® ÇÊ¿ä -°¡°Ý,¼ö·® ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
5.U18H -Cryo Pump ¼ö¸® ÇÊ¿ä -°¡°Ý,¼ö·® ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
6.Compressor -C30, C30V, C30VRT -°¡°Ý,¼ö·® ¹®ÀÇ ¿ä¸Á
Á¤»ó µ¿ÀÛ »óÅ·ΠÆǸŠµË´Ï´Ù. ¼ö¸® ÈÄ º¸Áõ±â°£Àº º°µµ ÇùÀÇ ¹Ù¶ø´Ï´Ù. (º¸Áõ±â°£ 3°³¿ù~12°³¿ù)
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